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Simulation von Bauelementen, Prozessen und Anlagen für die Mikro- und Nanoelektronik
Forschungsprojekte

Laufende Forschungsprojekte

DFG-Sachbeihilfe SELETCH

Rationales Design der selektiven thermischen Atomlagenätzprozesse durch Computerchemie

Zeitraum:
2019 bis 2022
Bearbeiter:
Xiao Hu

SAB-Verbundprojekt Momentum "Entwicklung eines neuen 22FDX Technologie-Knotens zum Industrie-Benchmark für den Kennwert PPA"

Teilvorhaben "Atomistische Modellierung von Oberflächenchemie und epitaktischem Wachstum"

Partner:
GLOBALFOUNDRIES, Racyics, Fraunhofer ENAS
Bearbeiter:
Jörg Schuster, Andreas Zienert, Xiao Hu, Linda Jäckel, Erik Lorenz, Max Huber, Florian Lazarevic
Zeitraum:
2018 bis 2021
 

Abgeschlossene Forschungsprojekte

DFG-Exzellenzcluster center for advancing electronics dresden - cfaed

Teilvorhaben "Modellierung von Silizium-Nanodraht-Transistoren" mit dem HZDR und SKALMOD 

Zeitraum:
2014 bis 2019
Bearbeiter:
Florian Fuchs

SAB-Verbundprojekt EVOLVE "Modellierung von Prozessen für die Metallisierung bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen und Charakterisierung einer neuen Barrieregeneration"

Unterauftrag "Modellierung der thermodynamischen und Transporteigenschaften von Präkursoren und möglichen Reaktions-produkten für die Abscheidung tantalbasierter Barrieren mittels ALD" für das Fraunhofer ENAS

Zeitraum:
2015 bis 2017
Bearbeiter:
Xiao Hu, Andreas Zienert

Themen

  • Gasphasenreaktionen der TaN-Precursoren
  • Entwicklung robuster atomistischer Modelle für High Performance Computing
  • Berechnung thermodynamischer und Transport-Eigenschaften der Precursoren 

ESF-Nachwuchsforschergruppe "Computer Simulation für das Material Design" (CoSiMa)

Teilprojekt 5 "Simulationsbasierte Entwicklung maßgeschneiderter Materialien für die 1D-Nanoelektronik".

Zeitraum:

September 2015 bis August 2018

Bearbeiter:

Fabian Teichert

Themen

  • Atomistische Simulation der elektronischen Transporteigenschaften von 1D-Materialien (Kohlenstoffnanoröhrchen, Siliziumnanodrähte) für die maßgeschneiderte Nanoelektronik
  • Bestimmung des Einflussen von Defekten, Dotierung, Substitutionen, Funktionalisierungen oder Adatomen auf die elektronischen Transporteigenschaften
  • Nutzung sowie Erweiterung eines hocheffizienten RGF-basierten Quantentransportcodes für 1D-Strukturen relevanter Größe (bis zu 1 Mikrometer): Einbeziehung von elektrischen Feldern und Ladungstransfer
  • Materialdesign mittels gezielter Verspannung (strain engineering)
  • Entwicklung einfacher Modelle für den Zusammenhang zwischen Struktur und Transporteigenschaften maßgeschneiderter 1D-Materialien auf Basis der Theorie der Lokalisierung elektronischer Zustände

 


DFG-Forschergruppe 1713 "Sensorische Mikro- und Nanosysteme" (SMINT)

Teilprojekt 1 "Modellierung von Nanodevices"

 
Zeitraum:
2011 bis 2015
Bearbeiter: Christian Wagner
Themen
  • Quantenmechanische Simulation elektronischer Eigenschaften von Kohlenstoffnanoröhrchen (CNTs) in realistischen Sensorstrukturen unter Berücksichtigung statischer und dynamischer elektrischer Felder mit leistungsfähigen Methoden für große Systeme
  • Weiterentwicklung empirischer Modelle für die optischen Eigenschaften verspannter CNTs, Modellierungsansätze für die lokale optische Analytik von verspannten CNTs
  • Entwicklung semi-empirischer Modelle zur Näherung der optischen Eigenschaften verspannter CNTs, die alle relevanten Quasiteilchenwechselwirkungen (v.a. Exzitonen) enthalten
  • Empirische Modellierung von Photoströme durch Kopplung optischer Eigenschaften an den elektronischen Transport
  • Aufstellung fehlender Modelle für verspannte CNT-Metall-Kontakte
  • Aufbau und Weiterentwicklung einer Multiskalen-Simulationsinfrastruktur zur Optimierung des Designs von CNT-Sensorbauelementen unter Berücksichtigung nanoskaliger Effekte
  • Erstellung einer umfassenderen Parameter-Datenbank
  • Bereitstellung von Ab-initio-Daten für eine Kraftfeldoptimierung für CNTs mit Metallkontakten
 

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