Forschungsthemen

Simulation von Prozessen und Anlagen für die Mikro- und Nanoelektronik

• Simulation von chemischen und physikalischen Prozessen der Dünnschichtabscheidung
  • ALD, CVD, PVD, ECD
• Skalenübergreifende Optimierung von Prozessen und Anlagen
• Fluiddynamik verdünnter Gase mit chemischen Reaktionen
  • ALD, CVD, PVD
• Simulation der Oberflächenchemie und Computer-Screening von Precursoren
  • Metall-ALD
  • Si/Ge-Epitaxie

Simulation von Bauelementen und Nanomaterialien 

• Numerische Bauelementesimulation und TCAD
  • ultraskalierte CMOS-Bauelemente 
• Modellierung und Ab-initio Berechnung der Eigenschaften von Nanomaterialien
  • Kohlenstoffnanoröhrchen
  • Graphenbasierte Leitermaterialien
  • Nanostrukturiertes Si/Ge
• Quantentransportrechnungen und Baulementemodelle 
  • Si-Nanodraht-Transistoren
  • Kohlenstoffnanoröhrchen