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6 Abbildungen

Abb. 1 Entwurfsprozeß mikrotechnischer Systeme

Abb. 2 Systemkomponenten zur Laserstrahlablenkung und Signalformen

Abb. 3a) Funktionale Zusammenhänge am Einzelaktor und b) Makromodell

Abb. 4 Torsionsaktormodellierung

Abb. 5 Arraymodelle a) strukturorientiert b) verhaltensorientiert

Abb. 6 Implementierungsbeispiel des Gleichungssystems (7) in HDL-A

Abb. 7 Schwebung im Einschwingvorgang der Mikrospiegel bei abweichender Erreger- frequenz von den Spiegeleigenfrequenzen

Abb. 8 Berechnung eines reflektierten Strahls im Raum

Abb. 9 Varianten zur Laserstrahlablenkung mit 1D-Spiegelarrays und Reflexionskörpern

Abb. 10 Strahlquerschnitt nach Reflexion an einer a) Kegeloberfläche b) Kugeloberfläche

Abb. 11 Spiegelarray auf Chipträger B

Abb. 12 Drahtbondverbindungen am Spiegelarray

Abb. 14 Kapazität bei Auslenkung für beide Spiegelelektroden: Messung und Modell

Abb. 15 Komponenten der Arrayansteuerung

Abb. 18 Doppel-Verstärkermodul