Offene Fragen

Im Verlaufe der Arbeiten des ersten Bewilligungszeitraums haben sich die folgenden Punkte als besonders problematisch und daher weiterer Untersuchungen in der kommenden Antragsperiode bedürfend herauskristallisiert:

• Ein nach wie vor aktuelles Problem stellt der extensive Rechenzeitbedarf bei der Simulation transienter Vorgänge - auch auf Systemniveau - dar. Hier sind weitere Arbeiten zur Implementierung von Verhaltensmodellen und deren Optimierung bezüglich Rechenzeiteffizienz notwendig. Hierbei gilt es vor allem, einen optimalen Kompromiß zwischen Genauigkeit und Rechenzeit zu finden sowie speziell an die jeweiligen Arraytypen angepaßte Modelle zu entwickeln, die z. B. die Lokalitätseigenschaften der Verkopplungen zwischen Arrayelementen ausnutzen.
• In der kommenden Antragsperiode ist im SFB die Entwicklung und Präparation von Mikrospiegelarrays geplant, deren Elemente eine Laserstrahlablenkung in zwei Dimensionen gestatten. Für die Systemmodellierung und -optimierung von Mikrosystemapplikationen mit derartigen 2D-Spiegelarrays sind daher entsprechende Arraymodelle auf Systemniveau zu entwickeln, die die Berücksichtigung mehrerer Freiheitsgrade gestatten.
• Im Interesse einer hohen Entwurfseffizienz, die nicht unwesentlich von der Wiederverwendbarkeit bereits bestehender Modelle beim Entwurf neuer Systeme bestimmt wird, ist der Aufbau einer Bibliothek von Mikrokomponenten-Modellen auf Systemniveau geplant. Dies wird umso bedeutender, da im kommenden Antragszeitraum eine Reihe neuer mikrotechnischer Komponenten entworfen und präpariert werden sollen und die Anzahl verschiedener Komponenten somit stetig wächst.
• Ebenfalls zur Aufwandsreduzierung bei der Systemmodellierung soll die Entwicklung generischer Modelle für Mikrokomponenten beitragen.
• Zunehmend Probleme bereitet die Datenhaltung für die wachsende Masse an Entwurfs- und Charakterisierungsdaten im SFB. Daher ist für den kommenden Antragszeitraum die Schaffung eines projektübergreifenden Datenmanagements geplant. Damit soll gleichzeitig eine weitere Intensivierung der Zusammenarbeit zwischen den einzelnen Arbeitsgruppen erreicht werden.
• Die bisherige, ausschließlich strahlenoptische Betrachtung der optischen Teilsysteme ist für die Bestimmung der optischen Abbildung in erster Näherung ausreichend. Für Projektionssysteme spielen aber auch energetische Aspekte eine Rolle; hierzu ist die Entwicklung geeigneter strahlungsphysikalischer und lichttechnischer Modelle notwendig. Schließlich gilt es zu untersuchen, ob unter bestimmten Umständen der Einfluß weiterer Effekte (z. B. Beugung an den Spiegelkanten) bei der Systemmodellierung mit berücksichtigt werden muß.