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Diplomarbeit


Thema

Entwurf und Realisierung eines Mikrowellen-Phasenschiebers in MEMS-Technologie


Aufgabenstellung

Steuerbare Mikrowellen-Phasenschieber die für zahlreiche Radar-Anwendungen erforderliche Variation des Richtdiagramms von Antennenarrays. PIN-Dioden und MEMS-Schalter werden zunehmend eingesetzt um mit einem Antennenarray eine bestimmte Anzahl unterschiedlicher Richtdiagramme zu realisieren.

Ziel der Diplomarbeit soll es sein, einen kontinuierlich abstimmbaren Mikrowellenphasenschieber zu entwerfen und experimentell zu analysieren. Der Phasenschieber vom Typ distributed transmission line phase shifter wird durch den Einsatz von MEMS-Technologien hergestellt werden.

Die Diplomarbeit soll folgende Schwerpunkte enthalten:

  • Berechnung und Entwurf des Phasenschiebers auf Si-Substrat
  • Optimierung der geometrischen Abmessungen für das coplanar waveguide bezüglich niedriger HF-Verluste und geringer erforderlicher mechanischer Verschiebung zum Abstimmen
  • Entwurf des elektromechanischen Systems und Optimierung hinsichtlich geringen Flächen- und Ansteuerspannungsbedarfs
  • Entwurf der Herstellungsmasken, Fertigungsbegleitung und Inspektion
  • Experimentelle Analyse des elektromechanischen Verhaltens
  • Messung der Übertragungseigenschaften
  • Beurteilung der Ergebnisse, Ansätze für Redesign


Betreuung

Download

als *.pdf auf Anfrage



Sebastian Voigt 2011-02-01   http://www.tu-chemnitz.de/~vse   sebastian.voigt@etit.tu-chemnitz.de

Sebastian Voigt
02. Januar 2006
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