Simulation von Prozessen, Anlagen und Bauelementen für die Mikro- und Nanoelektronik
Am Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz in enger Kooperation mit dem Fraunhofer ENAS
Kontakt: Dr. Jörg Schuster |
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Telefon: | +49 (0) 371 531 3… | |||
E-Mail: | joerg.schuster@… | |||
Besucheradresse: | Forschungsbau MAIN (C50) Raum 102 Rosenbergstraße 6 09126 Chemnitz |