Publikationen

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Matthias Küchler, Thomas Otto, Thomas Gessner, Frank Ebling, Henning Schröder:
Hot embossing for MEMS using silicon tools
International Journal of Computational Engineering Science (IJCES), vol. 4, no. 3, pp. 609 - 612, ISSN 1465-8763
Special Issue on Microelectromechanical Systems (ICMAT 2003, Symposium G), Part 2 (edited by Francis E. H. Tay; chief editors J. N. Reddy, K. Y. Lan)

Kirsten Windhorn, Leonhard Meixner, Stephan Drost, Henning Schröder, Elke Kilgus, Wolfgang Scheel, Herbert Reichl, Frank Ebling, Matthias Küchler, Jörg Nestler, Thomas Otto, Thomas Geßner:
Polymer BioMEMs with integrated optical and fluidic functionality
Proceedings of Micro Systems Technologies 2003: International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, München, 7–8 October 2003, Munich, Germany (edited by H. Reichl), Franzis 2003, pp. 416 - 423, ISBN 3-7723-7020-9

Christian Lohmann, Andreas Bertz, Matthias Küchler, Thomas Gessner:
A Novel High Aspect Ratio Technology for MEMS Fabrication Using Standard Silicon Wafers
Advanced Microsystems for Automotive Applications 2003 (edited by Jürgen Valldorf, Wolfgang Gessner), Springer-Verlag, Berlin, 2003, pp. 59 - 65, ISBN 3-540-00597-8

Christian Lohmann, Andreas Bertz, Matthias Küchler, Danny Reuter, Thomas Geßner:
Eine neue High-Aspect-Ratio-Technologie für die MEMS-Integration
Wissenschaftliche Berichte Nr. 10, 2002, Mittweida, S. 156 - 161, ISSN 1437-7624

Andreas Bertz, Matthias Küchler, Roman Knöfler, Thomas Gessner:
A Novel High Aspect Ratio Technology for MEMS Fabrication Using Standard Silicon Wafers.
Sensors and Actuators A 97-98 (2002) 691-701, ISSN 0924-4247

Matthias Küchler, Karla Hiller, Ramon Hahn, Andreas Bertz, Thomas Geßner:
Einsatzerfahrungen mit einer Multiplex-Ätzanlage für tiefes Siliziumätzen
Tagungsband zur 5. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 2001, S. 159 - 165, ISBN 3-00-008201-8

Andreas Bertz, Matthias Küchler, Roman Knöfler, Thomas Gessner:
A Novel High Aspect Ratio Technology for MEMS Fabrication Using Standard Silicon Wafers.
Proceedings of Transducers ’01 Eurosensors XV: The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, June 10–14, 2001, Munich, Germany (edited by Ernst Obermeier), Springer 2001, pp. 1128 - 1131, ISBN 3-540-42150-5

Matthias Küchler, Roman Knöfler, Carmen Steiniger, Thomas Raschke, Thomas Gessner, Rainer Dudek, R. Döring:
Stress-Induced Lateral Deflections of Microstructures.
Proceedings of the 3rd International Micro Materials Conference (edited by B. Michel, T. Winkler, M. Werner, H. Fecht), Berlin, 2000, pp. 476 - 479, ISBN 3-932434-15-3

Roman Knöfler, Klaus Wolf, Enrico Ahl, Ulf Kotarsky, Wolfgang Manthey, Matthias Küchler, Andreas Bertz, Thomas Gessner:
Micromechanical Scanning Device for Large Vertical Range with High Resolution.
Proceedings of the 7th International Conference on New Actuators, Bremen, Germany, 2000, pp. 83 - 86

Roman Knöfler, Andreas Bertz, Klaus Wolf, Matthias Küchler, Thomas Geßner:
Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
Tagungsband zur 4. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 1999, S. 177 - 181

Jürgen Wibbeler, Matthias Küchler, Carmen Steiniger, Andreas Bertz, Klaus Wolf, Jan Mehner, Thomas Gessner:
Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse.
Tagungsband 2 zum 44. Internationalen Wissenschaftlichen Kolloquium, Ilmenau, 1999, S. 354 - 359

Jürgen Wibbeler, Carmen Steiniger, Matthias Küchler, Klaus Wolf, Tino Frank, Jan Mehner, Wolfram Dötzel, Thomas Gessner:
Resonant Silicon Vibration Sensors with Voltage Controlled Frequency Tuning Capability.
Proceedings of the 13th European Conference on Solid-State Transducers, The Hague, The Netherlands, September 12 - 15, 1999

Matthias Küchler, Kerst Griesbach, Andreas Bertz, Thomas Geßner, Wolfgang Faust, Rainer Dudek:
Stress-Caused Deflections of Asymmetrical Coated Single-Crystal Silicon Elements
Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices, MRS Symposium Proceedings vol. 546 (edited by Arthur H. Heuer, S. Joshua Jacobs), 1999, pp. 33 - 38, ISBN 1-55899-452-1
(Tagungsband zum MRS Fall Meeting 1998 in Boston, Massachusetts, USA)

Matthias Küchler, Ramon Hahn, Andreas Bertz, Thomas Geßner:
Strukturierung dünner Silizium-Membranen mit reaktivem Ionenätzen
Wissenschaftliche Berichte Nr. 5, 1998, Mittweida, S. 137 - 140

Kerst Griesbach, Andreas Bertz, Wolfgang Faust, Rainer Dudek, Matthias Küchler, Thomas Geßner:
Investigation and Modification of the Mechanical Stress of Single Crystal Silicon Actuators Based on Surface Micromachining
Proceedings of the 6th International Conference on New Actuators, Bremen, Germany, 1998, pp. 82 - 85

Matthias Küchler, Andreas Bertz, Kerst Griesbach, Thomas Geßner:
Einsatz selbstjustierender Techniken in der Oberflächenmikromechanik
Tagungsband zur 3. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 1997, S. 259 - 265

Carsten Kleinsteuber, Matthias Küchler, Thomas Werner, Mark Tracey, Wolfram Dötzel:
Herstellung einer mikrofluidischen Kanalstruktur für ein Zytometer zur Untersuchung der zellmechanischen Eigenschaften von roten Blutzellen
Tagungsband zur 3. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 1997, S. 266 - 273

Kerst Griesbach, Andreas Bertz, Klaus Wolf, Jürgen Wibbeler, Matthias Küchler, Thomas Geßner:
Single Crystal Silicon Vertical Actuators based on Surface Micromachining
Proceedings of the 8th International Fair and Congress for Sensors, Transducers & Systems, Nürnberg, 1997, vol. 3, pp. 7 - 11

Kerst Griesbach, Andreas Bertz, Thomas Geßner:
Ausbildung von Kondensatorflächen in schmalen, tiefen Siliziumgräben für die oberflächennahe Silizium-Bulk-Mikromechanik
Wissenschaftliche Berichte; Band II, 1996, Mittweida, S. 101 - 106

Matthias Küchler, Matthias Markert, Andreas Bertz, Thomas Geßner:
Herstellung tiefer Siliziumgräben für die Oberflächenmikromechanik
Tagungsband zur 2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 1995, S. 2 - 8

O. Meißner, Falk Müller, Matthias Küchler, Michael Hietschold:
Herstellung und Erprobung von Proben für die Ballistische Elektronenemissions-Mikroskopie
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft (VI) 30, (1995), S. 1284


MK, 14. Januar 2004