Flüssigkeit⚓
- Bronkhorst Liqui-Flow (kompletter Eagle-Schaltplan sowie etwaiges Board-Layout zur Fehlersuche)
9-poliger SubD-Stecker oder 8-poliger Rundstecker: Gleiche numerische Anschlussbelegung beider. Externe Komplettierung des Massenflussreglers (MFC) durch Regelventil mit Zugmagnet.
| Referenzspannung +5 V aus MFC | 1 | |||
| 6 | -15 V, < 100 mA | |||
| Istwert 0..5 V (bzgl. Referenzspannung Pin 1) aus MFC | 2 | |||
| 7 | +15 V, 500 mA | |||
| Sollwert 0..5 V (bzgl. Referenzspannung Pin 1) zum MFC | 3 | |||
| 8 | Masse | |||
| Masse (Valve-) | 4 | |||
| 9 | Schutzerde PE (Rundstecker: Am Steckergehäuse) | |||
| Nach +15 V schaltender Regelventil-Ausgang (Valve+) | 5 | |||
Funktionsprinzip: Die Flüssigkeit durchläuft eine nach oben U-förmige Röhre, deren Gipfelpunkt durch eine Thermostatregelung (τ ≈ 0,5 s) 5 K wärmer gehalten wird als der Fußpunkt, mit 2 × Pt100 und einem als Heizelement „missbrauchten“ Dehnmessstreifen. Im Mittelteil bildet sich so eine vertikale lineare Temperaturverteilung. Die Ausrichtung nach oben verhindert, dass Luft um die Röhre zirkuliert. Strömt Flüssigkeit mit bekannter Wärmekapazität durch die Röhre, wird das aufsteigende Rohr durch die Flüsigkeit gekühlt und das absteigende Rohr erwärmt. Diese Temperaturdifferenz wird mit einer Reihenschaltung tausender Thermoelemente (= Bronkhorst-Patent?) erfasst und stellt einen linearen Zusammenhang zur Durchströmung her, sofern die sich einstellende horizontale Temperaturdifferenz wesentlich kleiner als 5 K ist.
Damit beim Aufheizen des U-Röhrengipfels eventuelle konstruktionsbedingte Unsymmetrien zu keinem horizontalen Temperaturgradienten führen, befinden sich am Röhrenende zwei benachbarte Heizelemente, deren Wärmeentwicklung mittels Potenziometer verteilt werden kann.
Die Steuerung des externen Regelventils erfolgt analog durch Vergleich von Soll- und Istwert über einen Integrator mit einigen Sekunden zur Sprungantwort.
Seit Ende 2018 sind alle Fotos Geschichte; nur der Massenflussregler dürfte noch als solcher irgendwo herumgeistern.