Mit 20-poligem Direktsteckverbinder. Hier: Zählweise Zickzack entsprechend Flachbandkabel am Schneidklemmstecker.
9-poliger SubD-Stecker oder 8-poliger Rundstecker: Gleiche numerische Anschlussbelegung beider. Externe Komplettierung des Massenflussreglers (MFC) durch Regelventil mit Zugmagnet.
Funktionsprinzip: Die Flüssigkeit durchläuft eine nach oben U-förmige Röhre, deren Gipfelpunkt durch eine Thermostatregelung (τ ≈ 0,5 s) 5 K wärmer gehalten wird als der Fußpunkt, mit 2 × Pt100 und einem als Heizelement „missbrauchten“ Dehnmessstreifen. Im Mittelteil bildet sich so eine vertikale lineare Temperaturverteilung. Die Ausrichtung nach oben verhindert, dass Luft um die Röhre zirkuliert. Strömt Flüssigkeit mit bekannter Wärmekapazität durch die Röhre, wird das aufsteigende Rohr durch die Flüsigkeit gekühlt und das absteigende Rohr erwärmt. Diese Temperaturdifferenz wird mit einer Reihenschaltung tausender Thermoelemente (= Bronkhorst-Patent?) erfasst und stellt einen linearen Zusammenhang zur Durchströmung her, sofern die sich einstellende horizontale Temperaturdifferenz wesentlich kleiner als 5 K ist.
Damit beim Aufheizen des U-Röhrengipfels eventuelle konstruktionsbedingte Unsymmetrien zu keinem horizontalen Temperaturgradienten führen, befinden sich am Röhrenende zwei benachbarte Heizelemente, deren Wärmeentwicklung mittels Potenziometer verteilt werden kann.
Die Steuerung des externen Regelventils erfolgt analog durch Vergleich
von Soll- und Istwert über einen Integrator mit einigen Sekunden zur Sprungantwort.
Seit Ende 2018 sind alle Fotos Geschichte; nur der Massenflussregler dürfte noch als solcher irgendwo herumgeistern.
Dessen Anschlussbelegung am 9-poligen SubD-Stecker ist wieder anders:
