Matthias Küchler
TU Chemnitz
Fakultät für
Elektrotechnik und Informationstechnik
Zentrum
für Mikrotechnologien
Reichenhainer Str. 70
09107 Chemnitz
Mitarbeit im Sonderforschungsbereich
379: "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays",
Teilprojekt C2: "Oberflächennahe Silizium-Bulk-Mikromechanik".
Der Sonderforschungsbereich wird von der Deutschen
Forschungsgemeinschaft (DFG) gefördert. Im Zusammenhang mit diesem Projekt enstanden einige Publikationen.
MK, 14. Dezember 1999