Zur Ansteuerung des Spiegelarrays werden Ansteuerverstärker benötigt. Die Spezifikation für die Ansteuerverstärker ergibt sich aus den geometrischen und mechanischen Eigenschaften des Spiegelarrays und den Ergebnissen nach der Arraysimulation:
Die härteste Anforderung stellt die für die gewünschte Auslenkung erforderliche Spiegelelektrodenspannung von bis zu 1000 V dar, da sich in diesem Spannungsbereich das Spektrum der verfügbaren Halbleiterbauelemente sehr stark einschränkt.